对于真空设备而言，无论密封系统多么可靠，微量的漏气总是存在的。漏气率是反映真空设备质量好坏的一个重要指标，真空热处理炉的极限真空度是不能说明漏气情况好坏。

测量压升率一般采用静态升压法，也称为真空放置法，即首先抽真空到设备的极限真空度，然后关闭阀门使真空室同真空泵系统隔离，按GB/T10066.1- 2004 电热设备的试验方法的通用部分中的规定，进行读取数据，并计算压升率，也可以再乘以真空室的体积得到漏气率。压升率的测量最好是经过长时间抽真空，达到真空室内表面放气量可以忽略不计的条件，对于长期使用的炉子或真空室长时间接触大气的炉子，要先进行脱气或净化处理方可测压升率，即使这样，读取数据时也要在压力隋时间变化呈线性段上读取数据。