真空热处理设备是实现材料热处理的重要设备。炉内气压低于正常气压。炉内气氛相当于一种气体，可使热处理工作不氧化。热处理设备的用途很广，主要用于结构钢、不锈钢、耐热合金、精密合金以及材料的真空回火，时效、退火、淬火，也可以用于真空除气，钎焊和烧结等方面。真空热处理炉使用安全可靠，可实现自动化操作，没有污染公害等间题。

　　1、真空设备的选择要根据所要热处理的零件化学成分和加热温度实现，必须满足金属氧化物与一氧化碳平衡分解压的关系，并且要考虑一定的余地，不要过分追求高真空，真空度过高不仅会造成合金元素的挥发，而且会造成设备的配置提高、投资费用增加。

　　2、冷却形式

　　真空炉的冷却有水冷、油冷和气冷。目前主要以气冷为主，因为气冷对热处理零件无任何污染和不良影响。 油冷有表面微渗碳问题对质量有影响处理后零件表面洁净不需要清洗所以在满足冷却速度的条件下一般以气冷淬火作为首选。气冷的冷却速度主要受气压、流速与气流的形式和分布等因素的影响，在进行选择时要全面考虑。一般情况气压高、流速大、冷却速度快即冷却速度是直接受到气压和流速的影响。另外，气冷时换热器冷却水的流量大小对于实际冷却有明显的影响。在同样的气压和流量条件下，冷却水流量大者冷却速度明显加快。 冷却的均匀性十分重要，有一些真空炉喷嘴分布设计考虑不足，靠炉门一侧未设置喷气嘴使用中发现冷却速度有明显差异尤其是处理较大零件更为显著导致淬火不足、均匀性变差。

　　3、加热元件形式

　　真空炉加热元件的形式和材料有一定的不同。一般以板式和棒式为主，材料为高质量石墨。近年来CFC(碳碳)复合材料的出现表现出较大的技术优势，有取代石墨的趋势。同样功率的情况下CFC材料厚度薄、相对蓄热小、有利于提高冷却速度。

　　4、功能：购置设备要考虑工艺的通用性即淬火回火使用温度范围要宽。特别是处理高合金钢，回火温度较高并且淬火后不出炉直接进行回火，十分方便。

　　5、控制系统

　　控制系统是真空加热炉的核心部分确保其可靠性和完善性及其重要。最好有监控和故障显示、记录功能，对于进口设备需要配备远程监控功能，这样可以保证故障处理的及时性，减少一定的维修费用。

　　6、其他

　　密封性和真空系统配置的可靠性也是重要环节。设备选型时不可从形式力求繁杂，一定要在对比的基础上力求可靠。有些炉门设计刚性不足，使用过程结合密封部分会发生难以察觉的位移，影响密封效果，泄漏率提高，无形中增加真空泵的负荷，设备实际利用率明显下降。