真空炉的冷却有水冷、油冷和气冷。目前主要以气冷为主，因为气冷对热处理零件无任何污染和不良影响。 油冷有表面微渗碳问题对质量有影响处理后零件表面洁净不需要清洗所以在满足冷却速度的条件下一般以气冷淬火作为首选。气冷的冷却速度主要受气压、流速与气流的形式和分布等因素的影响，在进行选择时要全面考虑。一般情况气压高、流速大、冷却速度快即冷却速度是直接受到气压和流速的影响。另外，气冷时换热器冷却水的流量大小对于实际冷却有明显的影响。在同样的气压和流量条件下，冷却水流量大者冷却速度明显加快。 冷却的均匀性十分重要，有一些真空炉喷嘴分布设计考虑不足，靠炉门一侧未设置喷气嘴使用中发现冷却速度有明显差异尤其是处理较大零件更为显著导致淬火不足、均匀性变差。