炉子的安装质量不好将会使压升率达不到技术要求，长期使用之后，真空炉的压升率也会增大。当真空度压升率恶化到一定程度后，处理零件的表面质量下降，加热元件的使用寿命会明显降低，这是需要对炉子检漏，并排除漏气原因。检漏及排除漏气因素的目的就是使漏气率达到技术条件要求。1） 由于存在漏孔产生的漏气； 2） 由渗透产生的漏气；渗透式指气体不是通过固体中的漏孔方式漏气的现象，而是气体吸附在固体的高压一侧表面上，然后沿浓度梯度向固体低压的一侧扩散。在真空炉中的金属、玻璃、橡皮、陶瓷等材料，都是可以渗透气体的。

检测真空系统的压升率可以使用压强时间关系曲线来寻找。从曲线中可见，在抽气过程中，开始真空炉的压力降低很快，之后达到稳定，关闭真空阀门之后，炉内的压力值变化可以用1、2、3曲线表示。

曲线1是一条具有一定斜率的直线，它是漏气造成的，即漏孔和渗透造成的漏气。

曲线2所示的情况是：开始阶段压强上升较快，之后渐渐变慢，最终达到压力不再变化的平衡阶段。这种情况表示真空系统没有漏气，系统内仅仅存在除气过程。除气过程将随时时间延长而减弱。

曲线3表明：开始时压强上升减慢，最后在时间t₂处变为与直线1呈同样斜率的直线段，这说明曲线3是由漏气和除气两过程综合作用的结果。随着时间的延长，除气速度逐渐减慢，在t₂时间处除气过程已可忽略，漏气过程成为主要过程。