人类冶金早已有几个世纪的历史。在经历了电冶金、火法冶金以及湿法冶金等冶金工艺技术的发展后，部分精细化的冶金技术逐渐崭露头角。19世纪80年初，真空技术真正用到冶金工业上。时至今日，真空冶金技术应用越来越成熟，从应用钢铁处理到有色金属处理，从粗金属到高纯度金属。真空熔炼就是真空冶金中重要的一部分。

　　真空熔炼具有以下特点

　　能防止稀有金属受大气和耐火材料的污染;

　　真空有净化提纯作用，可获得含气量低、夹杂少、偏析小、力学性能及加工性能优良的金属及合金。是获得高纯、高质量金属材料的最好方法;

　　真空电弧可获得2000℃以上的高温，可满足高熔点金属的熔炼要求。

　　通常真空熔炼是基于真空下的进行高温熔炼之后的提纯金属。真空熔炼的方法具体有：电子束熔炼、真空感应熔炼、真空电弧炉熔炼、等离子炉熔炼。

　　真空电弧炉电子束熔炼

　　电子束熔炼，也称为电子轰击熔炼，是在高真空之下运用一个或者以上阴极电子枪通过发射高能的电子束，将熔物料轰击，以使电子动能快速转为热能，进而熔化炉料，且滴入冷水铜中，从而凝固成锭的熔炼方法。电子书熔炼技术通常适用于熔炼难度高而且要求超高纯度的合金或者金属，是一种极具发展前景的熔炼方法。

　　高真空度(0.00027-0.027Pa)，使蒸气压较高的杂质被除去，如碳、钒、铁、硅、铝、镍、铬、铜等比精炼前可降低两个数量级，可得到无氧化物的钼和钨，氧可从0.002% 降至 0.0004%- 0.0009%， 氮降至0.004%- 0.008%， 氢含量低于 0.0001%- 0.0002%。

　　熔炼速度和加热速度可以在较大范围调节，有利于液态中的碳和氧反应，扩散能力低的杂质能扩散到熔体蒸发去除。

　　功率密度高，可达到104~ 108W/cm2， 熔池表面温度高、可调;同时，电子束对金属熔体有搅拌作用。

　　用水冷铜坩埚凝固铸锭，不被耐火材料污染。

　　可得到很高的温度，能熔化任何难熔金属，也可熔化非金属。